Промышленные печи для CVI, CVD и очистки графитовых материалов  

Химическая инфильтрация из газовой фазы | Химическое осаждение из паровой фазы | Очистка | Графитизация.

Вакуумные печи для CVD (Химическоге Осаждение Из Паровой Фазы), CVI (Химическая Инфильтрация Пара), FIC (Очистка Ионами Фтора), IVD (Ионно-Паровое Осаждение), нанесения шламовых покрытий и термической очистки.

Печи CVI (Химическая Инфильтрация Пара) — это специальные решения, используемые в процессе CVI, который представляет собой метод производства углеродных материалов, таких как графит, путем насыщения их углеродом из газовой фазы.
Они предназначены для обеспечения контролируемого нанесения углеродных слоев на пористые материалы. 

Печи CVD (Химическоге Осаждение Из Паровой Фазы) — это специальные печи, используемые в процессе CVD, который представляет собой метод получения покрытий посредством химических реакций в газовой фазе, например, из газа MTS CH3SiCl3 метилтрихлорсилана.
Они предназначены для обеспечения контролируемого нанесения материалов на поверхность обрабатываемых материалов.  

Печи для очистки с использованием газов, таких как хлористый водород (HCl), используются для очистки графитовых материалов.