Industrieöfen für CVI– und CVD–Verfahren sowie die Reinigung von graphitischen Materialien 

Chemische Dampfphaseninfitration | Chemische Gasphasenabscheidung | Reinigung | Graphitierung.

CVD, CVI, FIC, IVD, Slurry-Beschichtungen und Vakuumöfen zur thermischen Reinigung. 

CVI-Öfen (chemische Dampfphaseninfitration, eng. Chemical Vapor Infiltration) sind spezielle Lösungen für das CVI-Verfahren, eine Technik zur Herstellung kohlenstoffhaltiger Materialien, wie z. B. Graphit, durch Kohlenstoff-Sättigung in der Dampfphase.
Sie sind so konzipiert, dass sie eine kontrollierte Abscheidung amorpher Kohlenstoffschichten ermöglichen. 

CVD-Öfen (Chemische Gasphasenabscheidung, eng. Chemical Vapor Deposition) sind spezielle Öfen für das CVD-Verfahren (Beschichtungsverfahren), eine Technik zur Herstellung von Beschichtungen durch chemische Reaktionen in der Gasphase, z. B. aus MTS CH3SiCl3 Methyltrichlorsilan-Gas.  

Sie sind so konzipiert, dass sie eine kontrollierte Abscheidung von Materialien auf der Oberfläche der zu behandelnden Materialien ermöglichen. 

Gasreinigungsöfen (die Gase wie Chlorwasserstoff (HCl) verwenden) dienen der Reinigung von graphitischen Materialien.