CVD-Öfen (Chemische Gasphasenabscheidung, eng. Chemical Vapor Deposition)
CVD-Öfen – Chemische Gasphasenabscheidung
Öfen für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD – Chemical Vapor Deposition) dienen dazu, Schutz- und Funktionsschichten präzise auf verschiedene Materialien in einer kontrollierten Gasatmosphäre aufzubringen. Beispielsweise: TBC-Beschichtungen (Thermal Barrier Coating).
Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist ein Verfahren zur Abscheidung von Schutz- und Funktionsbeschichtungen auf Materialien unter hohen Temperaturen und in einer kontrollierten Gasatmosphäre oder im Vakuum.
Diese Technologie gewährleistet eine außergewöhnliche Langlebigkeit, Temperaturbeständigkeit und präzise Oberflächeneigenschaften, die in der Luftfahrt, der Energiewirtschaft sowie der Medizin- und Chemieindustrie unerlässlich sind.
/ Hohe Qualität der Schutzbeschichtungen.
/ Längere Lebensdauer von Werkzeugen und Bauteilen.
/ Abrieb- und Korrosionsbeständigkeit, sowie Beständigkeit gegen hohe Temperaturen.
/ Präzise Temperatur-, Druck- und Gaszusammensetzungskontrolle.
/ Möglichkeit der Abscheidung verschiedener Materialien (z. B. Keramik, Hartmetalle).
/ Technologie, die in der Luftfahrt, der Energiewirtschaft sowie in der Medizin- und Chemieindustrie zum Einsatz kommt.
/ Hochtemperatur-Reaktionskammer.
/ Hochentwickelte Systeme zur Temperatur- und Gasdurchflussregelung.
/ Möglichkeit, mit verschiedenen gasförmigen Vorläufern zu arbeiten.
/ Gasphasenabscheidung (CVD – Chemical Vapor Deposition)
/ Verwandte Prozesse:
/ Suspensionsbeschichtungen: ein Schichtbildungsverfahren auf Suspensionsbasis
/ FIC (Fluoride Ion Cleaning) – Oberflächenreinigung von Superlegierungen
/ Keramik
/ Hartmetalle
/ Schutzbeschichtungen
/ Die Arbeitsbereichsgröße ist auf die jeweiligen Anforderungen abgestimmt.
/ Spezielle Gasversorgungssysteme.
/ Digitale Integration und Automatisierung.
/ Luft- und Raumfahrt (Kohlefaser- und Keramikverbundwerkstoffe)
/ Energiebranche
/ Medizin
/ Chemieindustrie
/ Energieeffizienz.
/ Minimaler Verbrauch an Prozessgasen und minimale Emissionen von Prozessabgasen.
/ Hohe Energieeffizienz der verwendeten elektrischen Komponenten (IE3-Motoren, Frequenzumrichtersteuerung usw.).
/ Einsatz von Systemen und Algorithmen zur Reduzierung des Verbrauchs von Energie- und Betriebsmitteln (Pumpen-, Heiz- und Kühlsysteme).
